InGaZnO靶材和薄膜的研究进展Research Progress of InGaZnO Target and Thin Film
陆映东, 黄誓成, 梁盈祥, 莫曼, 方志杰 下载量: 1,024 浏览量: 3,684 国家自然科学基金支持
化学工程与技术 Vol.9 No.3, May 16 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/HJCET.2019.93030 被引量