绝缘体上硅为平台的氮氧化硅波导及马赫–泽德尔干涉仪结构的研究 Study on Silicon Oxynitride Waveguide and Mach-Zehnder Interferometer Structure on Silicon-on-Insulator Platform
崔 航, 孙德贵 下载量: 445 浏览量: 1,509 科研立项经费支持
传感器技术与应用 Vol.10 No.2, April 13 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JSTA.2022.102021 被引量