用于大面积薄膜沉积的线形等离子体源研究进展Research Progress of the Linear Plasma Source Used in the Films Deposition over Large Areas
左 潇, 陈龙威, 魏 钰, 赵 颖, 孟月东 下载量: 4,814 浏览量: 17,531
应用物理 Vol.2 No.4, October 31 2012, PDF, , DOI:10.12677/APP.2012.24019 被引量