硅片衬底微粗糙度对外延硅片表面颗粒的影响
The Effect of Silicon Wafer Substrate Micro Roughness on the Surface Particles of the Epitaxial Silicon Wafers

赵而敬,王永涛,曹 孜,刘建涛,张 静,郑 捷,蔡丽艳,钟耕杭,韩晨华：有研半导体材料有限公司，北京

版权 © 2017 赵而敬, 王永涛, 曹 孜, 刘建涛, 张 静, 郑 捷, 蔡丽艳, 钟耕杭, 韩晨华。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。

How to Cite this Article