薄膜铂电阻制备工艺研究Research on Preparation Technology of Thin-Film Platinum Resistance
张 倩, 袁 燕, 于海洋, 倪 烨, 常子硕, 孟腾飞, 林树超 下载量: 85 浏览量: 297
仪器与设备 Vol.12 No.1, March 15 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2024.121007 被引量