DOI: 10.12677/AMC.2014.23007, PDF, HTML, , 被引量 下载: 2,510 浏览: 7,527 科研立项经费支持
作者: 耿志挺, 何青:华北电力大学能源与动力学院,北京
关键词: ITO薄膜;直流磁控溅射;光电学性能;ITO Thin films; DC Reactive Magnetron Sputtering; Electrical and Optical Properties
文章引用: 耿志挺, 何青. 直流磁控溅射功率对ITO薄膜光电学性能的影响 [J]. 材料化学前沿, 2014, 2(3): 43-48. http://dx.doi.org/10.12677/AMC.2014.23007
参考文献