4H-SiC高温激活退火对F离子扩散的影响Effect of High-Temperature Activation Annealing on F Ion Diffusion in 4H-SiC
万彩萍, 王世海, 周钦佩, 许恒宇 下载量: 1,612 浏览量: 5,378 科研立项经费支持
智能电网 Vol.8 No.1, February 6 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/SG.2018.81002 被引量
NO退火对4H-SiC MOS器件栅氧化层TDDB可靠性的影响Effect of NO Post-Oxide-Annealing on TDDB Reliability of 4H-SiC MOS Oxidation
万彩萍, 王影杰, 张文婷, 王世海, 周钦佩, 许恒宇 下载量: 1,396 浏览量: 4,501
智能电网 Vol.8 No.3, June 28 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/SG.2018.83032 被引量