大直径硅片微区电阻率的表征Characteristics for Resistivity in Micro-Areas on Large-Scale Silicon Slices
孙冰, 齐景爱, 高金雍, 张秀军 下载量: 3,316 浏览量: 11,276
凝聚态物理学进展 Vol.2 No.1, February 17 2013, PDF, , DOI:10.12677/CMP.2013.21002 被引量