基于MEMS技术悬臂梁式脉搏传感器制作与特性研究Fabrication and Characteristics Research of the Cantilever Beam Pulse Sensor Based on MEMS Technology
李森, 陈静, 李丹丹, 赵晓锋 下载量: 2,521 浏览量: 7,986 国家科技经费支持
传感器技术与应用 Vol.4 No.3, July 15 2016, PDF, , XML DOI:10.12677/JSTA.2016.43012 被引量
基于纳米多晶硅薄膜压力传感器胎压监测系统The TPMS Based on the Nano-Polysilicon Thin Film Pressure Sensor
赵小松, 于 洋, 陈 静, 赵晓锋 下载量: 2,862 浏览量: 8,413 国家科技经费支持
传感器技术与应用 Vol.3 No.3, July 14 2015, PDF, , XML DOI:10.12677/JSTA.2015.33007 被引量
MEMS半填充微型气相色谱柱微流道设计及流场研究Microfluidic Channel Design and Flow Field Study of MEMS Semi-Packed Micro Gas Chromatography Columns
陈宗帅, 胡 州 下载量: 72 浏览量: 110
建模与仿真 Vol.13 No.2, March 22 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MOS.2024.132134 被引量
磁控溅射法制备PMN-PZT/PZT异质薄膜的电性能Electrical Properties of PMN-PZT/PZT Heterostructure Films Prepared by Magnetron Sputtering
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材料科学 Vol.12 No.5, May 25 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2022.125054 被引量
ZnO-碳纤维异质结构的乙醇敏感特性研究Ethanol Gas Sensing Properties of ZnO-Carbon Nanofibers Heterostructures
徐鹤天, 杜路路, 崔光亮, 张品华, 孟 沂 下载量: 260 浏览量: 389
应用物理 Vol.13 No.3, March 29 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2023.133007 被引量