Si/SiO2吸放气率测试及机理分析 Measurement and Analysis of Si/SiO2 Absorption and Outgassing Rate
盛学民, 何 茗 下载量: 180 浏览量: 292
材料科学 Vol.13 No.6, June 19 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2023.136055 被引量