自冷却射频电极仿真分析与验证Simulation Analysis and Verification of Self-Cooling RF Electrode
岳万利, 崔海坡, 郝又国, 郭旭东 下载量: 214 浏览量: 1,674 科研立项经费支持
建模与仿真 Vol.11 No.6, November 2 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MOS.2022.116133 被引量