基于图像的离线的光刻工艺稳定性控制方法Offline Lithography Process Stability Control Method Based on Image
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图像与信号处理 Vol.12 No.3, July 13 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JISP.2023.123025 被引量
纳米压印技术制备硅基有序一维、二维纳米结构Fabrication of Si-Based 1D,2D Ordered Nano Structure by Nanoimprint Lithography
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现代物理 Vol.1 No.3, November 25 2011, PDF, , DOI:10.12677/mp.2011.13010 被引量
交叉学科中的光刻工艺实验教学探讨与实践Discussion and Practice on Experimental Teaching of Lithography Technology in Interdiscipline
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教育进展 Vol.12 No.10, October 26 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/AE.2022.1210629 被引量
极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
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应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
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材料科学 Vol.12 No.4, April 29 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2022.124032 被引量
一种基于光致变色材料的超分辨加工技术A Super-Resolution Fabrication Technique Based on Photochromic Material
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应用物理 Vol.8 No.6, June 7 2018, PDF, , DOI:10.12677/APP.2018.86033 被引量
全息光栅金属掩模的制备与应用探究Preparation and Application of Holographic Grating Metal Mask
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现代物理 Vol.10 No.1, December 30 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2020.101001 被引量
激光锡等离子体极紫外光谱的优化研究Research on Optimization of Extreme Ultraviolet Spectrum from Laser-Produced Tin Plasma
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应用物理 Vol.10 No.1, January 14 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.101008 被引量
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现代物理 Vol.9 No.1, January 4 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2019.91004 被引量
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仪器与设备 Vol.12 No.1, March 15 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2024.121005 被引量