InGaZnO靶材和薄膜的研究进展
Research Progress of InGaZnO Target and Thin Film
陆映东,黄誓成,梁盈祥：广西晶联光电材料有限责任公司，广西 柳州；莫曼,方志杰：广西科技大学理学院，广西 柳州
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