MS  >> Vol. 10 No. 4 (April 2020)

材料科学
Material Sciences
Vol.10 No.4(2020), Paper ID 35110, 4 pages
DOI:10.12677/MS.2020.104028

区熔法拉制硅单晶中多晶棒化刺工艺探讨
The Spine Removal of Poly Crystal Rod in Single Crystal Growth by Floating Zone

陈海滨,闫志瑞,库黎明,朱秦发,王永涛,苏 冰:有研半导体材料有限公司,北京

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陈海滨, 闫志瑞, 库黎明, 朱秦发, 王永涛, 苏冰. 区熔法拉制硅单晶中多晶棒化刺工艺探讨[J]. 材料科学, 2020, 10(4): 234-237. https://doi.org/10.12677/MS.2020.104028