高功率MPCVD装置制备金刚石膜工艺的研究
Study on the Process of Preparing Diamond Films by the High-Power MPCVD Equipment
刘勇涛,马 杰：西华大学理学院，四川 成都；周 霖,查 康,刘睿家：西华大学军民融合处，四川 成都；李 铜：西华大学材料科学与工程学院，四川 成都
版权 © 2017 刘勇涛, 马 杰, 周 霖, 查 康, 刘睿家, 李 铜。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。