卷对卷电子束蒸镀高阻隔膜研究进展
Progress on Preparing High Barrier Films by Roll-To-Roll Electron Beam Evaporation
陈捷豪,贺 涛,陈星宇,马 赛,刘 莹:汕头大学物理系,广东 汕头;王江涌,徐从康:汕头大学物理系,广东 汕头;汕头大学半导体材料与器件中心,广东 汕头
版权 © 2017 陈捷豪, 贺 涛, 陈星宇, 马 赛, 刘 莹, 王江涌, 徐从康。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品;您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。