MS  >> Vol. 12 No. 9 (September 2022)

材料科学
Material Sciences
Vol.12 No.9(2022), Paper ID 56397, 14 pages
DOI:10.12677/MS.2022.129102

卷对卷电子束蒸镀高阻隔膜研究进展
Progress on Preparing High Barrier Films by Roll-To-Roll Electron Beam Evaporation

陈捷豪,贺 涛,陈星宇,马 赛,刘 莹:汕头大学物理系,广东 汕头;
王江涌,徐从康:汕头大学物理系,广东 汕头;汕头大学半导体材料与器件中心,广东 汕头

版权 © 2017 陈捷豪, 贺 涛, 陈星宇, 马 赛, 刘 莹, 王江涌, 徐从康。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品;您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。

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陈捷豪, 贺涛, 陈星宇, 马赛, 刘莹, 王江涌, 徐从康. 卷对卷电子束蒸镀高阻隔膜研究进展[J]. 材料科学, 2022, 12(9): 912-925. https://doi.org/10.12677/MS.2022.129102