玻璃基板在多孔质面节流气体支承状态下稳定性实验研究
Experimental Study of the Stability of Glass Substrates in a Porous Textured Surface Throttled Gas Supported State
郝春元,陆 萌,董峻廷,桂博扬,黄 斌,杨永跃:合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥
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