关于一款I线光刻胶的实验研究
Research on an I-Line Photoresist
袁 燕,张 倩,倪 烨,王 君,曹 玉,于海洋,孟腾飞：北京航天微电科技有限公司，北京
版权 © 2017 袁 燕, 张 倩, 倪 烨, 王 君, 曹 玉, 于海洋, 孟腾飞。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。