电子束蒸发硅薄膜的设计
Design of Electron Beam Evaporated Silicon Thin Film

邱美叶,孔惠颖,郑照轩,孙康迅,施钧策,张 弛,周金辉,李 轩,罗 薇,徐东昕,乔忠良,李 林,曲 轶,李再金：海南省激光技术与光电功能材料重点实验室，海南省院士团队创新中心，海南师范大学物理与电子工程学院，海南 海口

版权 © 2017 邱美叶, 孔惠颖, 郑照轩, 孙康迅, 施钧策, 张 弛, 周金辉, 李 轩, 罗 薇, 徐东昕, 乔忠良, 李 林, 曲 轶, 李再金。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。

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