掺磷多晶硅的干法刻蚀工艺研究
Research on Dry Etching Process of Phosphorus-Doped Polysilicon
刘 瑞,白 雪,武晓玮,葛 欢,赵万利,孙俊敏,李 玲,吴 昊：国家电网，全球能源互联网研究院有限公司，北京；先进输电技术国家重点实验室，北京
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