薄膜铂电阻制备工艺研究
Research on Preparation Technology of Thin-Film Platinum Resistance
张 倩,袁 燕,于海洋,倪 烨,常子硕,孟腾飞,林树超：北京航天微电科技有限公司，北京
版权 © 2017 张 倩, 袁 燕, 于海洋, 倪 烨, 常子硕, 孟腾飞, 林树超。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。