直排四探针法测量硅片电阻率及不确定度评定
Measuring Resistivity of Silicon Wafers with Four-Point Probe Method and Evaluation of Uncertainty in Measurement
DOI: 10.12677/MS.2019.912128, PDF,   
作者: 高 英*, 李兰兰：中国计量科学研究院，北京
关键词: 四探针；电阻率；不确定度；Four-Point Probe； Resistivity； Uncertainty
摘要: 四探针电阻率测量仪广泛应用于半导体行业，是测量半导体材料电阻率的常用设备。本文针对不同样品测量时应注意的测量条件、适用的计算公式做了简要的说明，并对晶圆薄片的精密测量结果的不确定度评定做了比较详细的论述。
Abstract: Resistivity measuring instruments with four-point probe is widely used in semiconductor industry, and it is a common device for measuring resistivity of semiconductor materials. In this paper, the measurement conditions and applicable calculation formulas for different samples are briefly de-scribed, and the uncertainty evaluation of the precise measurement results of wafer is discussed in detail.
文章引用：高英, 李兰兰. 直排四探针法测量硅片电阻率及不确定度评定[J]. 材料科学, 2019, 9(12): 1041-1047. https://doi.org/10.12677/MS.2019.912128

参考文献

[1] 全国半导体设备和材料标准化技术委员会, 材料分会. 半导体材料标准汇编(2014版) [M]. 北京: 中国标准出版社, 2014.
[2] 半导体设备和材料国际组织中国标准化协会SEMI标准年鉴[M]. 北京: 中国标准出版社, 1987.
[3] 刘玉岭, 等. 微电子技术工程[M]. 北京: 电子工业出版社, 2004.
[4] 陈奕钦. 测量不确定度93国际指南应用实例[M]. 北京: 中国计量出版社, 1998.
[5] 测量不确定度评定与表示指南[M]. 北京: 中国计量出版社, 1997.

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