学术期刊
在线客服：
对外合作：
联系：400-6379-560
feedback@hanspub.org
客服号

人工客服，稿件咨询
公众号

科技成果分享
《Journal of Applied Physics》

Modified Deal Grove Model for the Thermal Oxidation of Silicon Carbide

作者:
Y Song，S Dhar，LC Feldman，G Chung

关键词:
crystal faces ；oxidation ；silicon compounds ；wide band gap semiconductors ；8105Hd ；8165Mq

摘要:
a faces, which are performed in 1 atm dry oxygen and in the temperature range 950–115065°C. Analysis within the model provides a physical explanation for the large crystal-face dependent oxidation rates observed. 08 2004 American Institute of Physics.

在线下载

相关文章:
在线客服：
对外合作：
联系方式：400-6379-560
投诉建议：feedback@hanspub.org
客服号

人工客服，优惠资讯，稿件咨询
公众号

科技前沿与学术知识分享