集成电路刻蚀用硅部件加工及最新发展Silicon Parts Used in Ic Etching Manufacture and New Development
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材料科学 Vol.10 No.7, July 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.107071 被引量
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材料科学 Vol.10 No.4, April 17 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.104028 被引量
重掺硅单晶中氧含量的测试The Determination of Oxygen in High Doping Silicon Crystal
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材料科学 Vol.10 No.7, July 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.107073 被引量